TSK621系列微小流量气体质量流量控制器

TSK621系列微小流量气体质量流量控制器

详细介绍

产品简介
TSK621系列微小流量气体质量流量控制器/流量计用以准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高,零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用在真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验室、分析仪器、冶金材料、能源动力等各领域的应用。


技术指标
量       程: 10...500SCCM    1...30SLM
准  确 度: 模拟信号控制  ±1.0%F.S
                  数字信号控制  ±0.5%F.S
控制范围: 50:1
重复精度: ±0.2%F.S
线性精度: ±0.5%F.S
响应时间: 1...2S
稳  定  性: <±0.1%F.S
温度范围: 0...50℃
温度系数: <±0.05% FS/℃
泄  漏 率: <2×10-8SCCSHe
预热时间: 15min
供电电源: +15VDC或±5VDC或24VDC
模拟信号: 0...5VDC或4...20mA 
数字连接: RS485  MODBUS-RTU协议 
本体材质: SS316L不锈钢
最大耐压: 30bar或100bar
过程连接: 双卡套
密封材质: 氟橡胶  EPDM 
防护等级: IP40

时间:2017/8/21 8:42:06  【打印此页】 【关闭】 【返回
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