EL-FLOW SELECT

EL-FLOW SELECT

详细介绍

产品简介
EL-FLOW SELECT系列微小流量气体质量流量控制器/流量计是荷兰著名流量仪表厂家bronkhorst高科技有限公司研发生产的一款通用型、数字化产品,以其高可靠性、高稳定性而获得了广泛的认可,产品测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用在真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验室、分析仪器、冶金材料、能源动力等各领域的应用。


技术指标
量       程:   0.7...500SCCM    1...1670SLM
准  确  度: ±0.5%RD±0.1%F.S
控制范围: 50:1
重复精度: ±0.2%F.S
响应时间: 1...2S ()(特殊可选<500mS)
稳 定 性: <±0.1%F.S
温度范围: -10...70℃
温度系数: <±0.05% FS/℃
泄  漏  率:<2×10-9SCCSHe
预热时间: 15min
供电电源: +15VDC...24VDC
模拟信号: 0...5VDC或4...20mA 
数字连接: RS232  Modbus-RTU 
本体材质: SS316L不锈钢
最大耐压: 标配64bar,可选200bar或400bar
过程连接: 双卡套或VCR金属密封
密封材质: 氟橡胶  EPDM  Kalrez  全金属密封
防护等级: IP40

时间:2017/8/18 16:51:55  【打印此页】 【关闭】 【返回
Top