TSK521CL小流量差压式质量流量控制器

TSK521CL小流量差压式质量流量控制器

详细介绍

产品概述:

TSK521系列质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TSK521系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量,这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数:气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压,并且可以同时显示和输出。TSK521系列气体质量流量控制器通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量。 将计算流量值与设定流量值进行比较,采用 PID闭环控制调节阀门,使流过通道的流量与设定的流量相等。


技术指标:

量       程: 气体  5...500mL/min           1...30L/min 

                   液体 0...2kg/min
准  确 度:模拟信号控制  ±1.0%F.S
                  数字信号控制  ±0.5%F.S
控制范围: 50:1
重复精度: ±0.25%F.S

响应时间:<200mS
稳  定  性: <±0.1%F.S
温度范围: 0...50℃
温度系数: <±0.05% FS/℃
泄  漏  率: <2×10-9SCCSHe
预热时间: 5S
供电电源: +15...24VDC
模拟信号: 0...5VDC或4...20mA 
数字连接: RS485 MODBUS-RTU协议
本体材质: SS316L不锈钢
最大耐压: 30bar
过程连接: 双卡套或VCR
密封材质: 氟橡胶  EPDM  Kalrez
防护等级: IP40


时间:2017/9/3 16:35:54  【打印此页】 【关闭】 【返回
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